射频电源是半导体制造装备的核心零部件。近年来，随着芯片制程工艺的不断发展、电路集成度逐渐提高，射频电源性能成为制约半导体制造装备产量和性能的瓶颈之一。北方华创科技集团股份有限公司控制技术经理兼产品经理李加波默默耕耘在创新的原野上，勇于挑战，大胆创新，攻克了一个又一个技术难题，用智慧和汗水为国产射频电源制造的进程谱写新的篇章。

首次成功

2019年10月，李加波收到公司的紧急任务，主导某型号1连续波射频电源控制系统开发，这是公司提出的战略任务之一，是公司计划开发的第一台射频电源。时间紧、任务重，而公司相关专业的人才又比较紧缺，在这样的背景下，李加波迅速组建了一支5人小团队。这5个人都是刚接触射频电源控制系统的新人，对射频电源的专业知识了解有限，但时间不等人，他们必须快速行动起来。

李加波深知只有团队协作才能战胜困难，因此，他积极组织团队成员进行专业培训，研讨分析解决技术问题，并在公司内组织跨部门的交流，帮助团队成员快速掌握射频电源和所应用设备的相关知识。同时，他还鼓励团队成员积极提出自己的想法和建议，充分发挥每个人的特长，最终形成合力。

在研发过程中，李加波带领团队查阅文献、参考行业内相关的控制系统，深入了解市场需求和产品优势；积极与公司相关部门沟通，明确产品需求和相关参数。李加波团队不断优化设计方案，攻克了一个又一个技术难题，经过半年的努力，终于完成了控制系统的硬件设计、上位机软件设计等工作，为公司开发出了第一款国产射频电源控制系统，解决了射频电源开发的核心问题——控制系统软硬件技术的自主化，并为产品的系列化开发奠定了技术基础。

两次“救火”

1号连续波射频电源投入市场后得到认可，公司研发的某型号2射频电源项目又出现了技术瓶颈。凭借在1号射频电源研发过程中的优秀表现，李加波被紧急调入到2号射频电源项目组中“救火”。

李加波在之前的工作中有了一定的技术积累，在调入2号射频电源项目组后，仅用两周时间就完全融入了新项目，并通过梳理问题清单、抓住关键问题、更新整机方案及硬件方案设计，最终突破了2号射频电源的瓶颈，实现2号射频电源量产。

一年后，李加波又被调入到3号射频电源项目中。该项目交期即将延误，需求紧迫。李加波利用专业优势，仅用两周就聚焦到关键问题，并带领团队用3个月的时间解决了问题，实现了本型号射频电源控制系统、射频系统、供电系统的技术开发、整机测试及在半导体设备上的验证。

2号、3号射频电源因具有应用范围更广、技术难度更高的特点，进一步提高了射频电源产品性能，拓展了射频电源产品的应用场景。两次“救火”公司重大项目的经历，让李加波获得了公司“优秀队长”的称号。

持续创新

在创新研发的路途上，李加波步履不停。2023年1月至今，他积极推动射频电源开发的重要攻关项目，并在原有功能的基础上提升了相关的参数和性能，使产品能够适应新一代半导体设备对射频电源的高级功能工作要求。目前产品已开发完成，正在半导体装备上进行验证。

李加波深知射频电源作为半导体行业的重要组成部分，其发展前景广阔，随着科技的不断进步和市场的不断扩大，射频电源的应用领域将越来越广泛，对性能和质量的要求也将越来越高。因此，他将继续带领团队深入研究射频电源技术，不断探索新的应用领域和市场需求，推动射频电源技术的不断创新和发展，实现关键零部件的自主可控。他说：“希望公司研发的射频电源能够实现更广泛的应用，让我们国产关键零部件的开发达到国际先进水平。同时，也希望能将自己所学完全应用到工作中，为突破关键技术贡献自己的力量。”

□本报记者 马超